Dynamics of thin-film silicon flexural MEMS: from material properties to electrical characterization
Tipo
Doutoramento
Candidato
João Maria Melo Albuquerque Saraiva Mouro
Título
Dynamics of thin-film silicon flexural MEMS: from material properties to electrical characterization
Escola
Instituto Superior Técnico
Data e Hora
19/11/2015 - 14:00
Local
Sala 02.2 do Centro de Congressos (Piso -2 do Pavilhão de Civil) do IST
Ramo / Especialidade
- Engenharia Física Tecnológica
Edital
Nomeação do Juri
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